Veranstaltung: Fertigungstechniken der Elektronik 

Dozent: Prof. Andersmeinbild

Termin (SS 2016):     Fr 11:00-12:15

Ein Inhaltsverzeichnis finden Sie hier.

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Aktuelle Info:
keine
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Literatur:   

Ich kenne leider kaum gute Bücher zu den Inhalten dieser Vorlesung, am ehesten:  

        S.Büttgenbach, Mikromechanik, Teubner Studienbücher, ISBN 3-519-03071-3.

Meine Präsentationsfolien

gibt es als pdf-Dokumente im Handoutverzeichnis (Anders) nur für den internen Zugriff.
Ich benutze die kostenlose Präsentationssoftware:  
Impress von Libreoffice (4.4)   ->  (http://www.libreoffice.org/)
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Screencasts / Vorlesungsvideos:
Ich habe im WS 2011/12 begonnen, die Vorlesung durch Screencasts auch online verfügbar zu machen. Dies soll es erleichtern, verpasste Vorlesungen nachzuholen oder zur Prüfungsvorbereitung nochmals anzuhören.
Ich übe noch und die Videos sind weit davon entfernt, perfekt zu sein. Sie sind aber sicherlich schon nützlich für Sie. Zunächst geht für mich Vollständigkeit vor Perfektion.

(Achtung, die Clips sind teilweise über 200 MB groß)


VL_1  (Einführung, Vakuumtechnik, Aufdampftechnik)              clip_a  clip_b
VL_2  (Gleichstrom Kathodenzerstäubung/DC-Sputtering)       clip 
VL_3 (HF-Sputtern, weitere Depositionsverfahren)                    clip  
VL_4 (Ultradünne Schichten)                                                       clip_a    clip_b  

VL_5 (Reinraumtechnik)                                                              clip_a   clip_b
VL_6 (Elektronenstrahllithographie)                                    clip  
       VL_6b (Neue Entw. in der E.strahllithographie)       clip  
VL_7  (Rastersondenlithographie)                             clip   
VL_8  ( Focused Ion Beam Lithograpie)            clip  
VL_9   (Röntgen/EUV - Lithographie)        clip                

VL_10 (Optische Lithographie)              clip
VL_11 (Trockenätzen)                             clip
VL_12 (Silizium)                                      clip
VL_13 (Mikromechanik)                         clip

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