Veranstaltung:
Fertigungstechniken der Elektronik
Dozent: Prof. Anders
Termin (SS 2016):
Fr 11:00-12:15
Ein Inhaltsverzeichnis
finden Sie hier.
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Aktuelle Info:
keine
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Literatur:
Ich kenne leider kaum gute
Bücher zu den Inhalten dieser Vorlesung, am
ehesten:
S.Büttgenbach, Mikromechanik, Teubner
Studienbücher, ISBN 3-519-03071-3.
Meine Präsentationsfolien
gibt es als
pdf-Dokumente im Handoutverzeichnis (Anders) nur für den
internen Zugriff.
Ich benutze die
kostenlose Präsentationssoftware:
Impress von Libreoffice
(4.4) -> (http://www.libreoffice.org/)
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Screencasts / Vorlesungsvideos:
Ich habe im WS 2011/12 begonnen, die Vorlesung durch Screencasts
auch online verfügbar zu machen. Dies soll es erleichtern,
verpasste Vorlesungen nachzuholen oder zur Prüfungsvorbereitung
nochmals anzuhören.
Ich übe noch und die Videos sind weit davon entfernt, perfekt zu
sein. Sie sind aber sicherlich schon nützlich für Sie. Zunächst
geht für mich Vollständigkeit vor Perfektion.
(Achtung, die Clips sind teilweise über 200 MB groß)
VL_1 (Einführung, Vakuumtechnik,
Aufdampftechnik)
clip_a clip_b
VL_2 (Gleichstrom
Kathodenzerstäubung/DC-Sputtering)
clip
VL_3 (HF-Sputtern, weitere
Depositionsverfahren)
clip
VL_4 (Ultradünne Schichten)
clip_a
clip_b
VL_5 (Reinraumtechnik)
clip_a clip_b
VL_6
(Elektronenstrahllithographie)
clip
VL_6b (Neue Entw.
in der E.strahllithographie)
clip
VL_7 (Rastersondenlithographie)
clip
VL_8 ( Focused Ion Beam Lithograpie)
clip
VL_9 (Röntgen/EUV - Lithographie)
clip
VL_10 (Optische
Lithographie)
clip
VL_11
(Trockenätzen)
clip
VL_12 (Silizium)
clip
VL_13 (Mikromechanik)
clip
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